儀器包括立柱體（材料采用花崗巖、氣浮塊做為滑動(dòng)體、氣模為介質(zhì)實(shí)現(xiàn)無摩擦運(yùn)動(dòng)）測量裝置，驅(qū)動(dòng)裝置（步進(jìn)電機(jī)及傳動(dòng)部分），氣源控制裝置（判斷氣壓及凈化），輔助夾具，打印機(jī)及電腦等（打印檢定記錄及數(shù)據(jù)處理）。